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微電子車間是芯片、集成電路等精密器件的生產(chǎn)核心區(qū)，隨著制程工藝向納米級突破（如 3nm、2nm 技術(shù)），對空氣中超細(xì)微粒的管控已嚴(yán)苛至 0.1μm 級別 —— 這類微粒若附著在晶圓表面，會直接導(dǎo)致電路短路、光刻圖案失真，造成整批產(chǎn)品報廢。傳統(tǒng)塵埃粒子計數(shù)器多聚焦于 0.3μm 及以上粒徑，難以捕捉 0.1μm 級別的污染物（如晶圓蝕刻產(chǎn)生的納米級碎屑、光刻膠揮發(fā)物凝結(jié)顆粒），且人工巡檢或離線檢測存在數(shù)據(jù)滯后，無法實時反映鍍膜、離子注入等關(guān)鍵工序的瞬時污染。同時，ISO 14644-1 最新標(biāo)準(zhǔn)對微電子潔凈室的分級要求中，0.1μm 粒子濃度已成為判定 Class 1 級（最高等級）潔凈度的核心指標(biāo)。因此，0.1um 在線激光塵埃粒子計數(shù)器成為剛需，通過實時監(jiān)測超細(xì)微粒濃度波動，為過濾器性能驗證、氣流穩(wěn)定性調(diào)控提供數(shù)據(jù)支撐，筑牢納米級制程的潔凈防線。

微電子車間0.1um在線激光塵埃粒子計數(shù)器產(chǎn)品簡介

OSEN-2510L型0.1um激光塵埃粒子計數(shù)器，是我司自主研發(fā)的全新一代產(chǎn)品。計數(shù)器以光散射原理為理論，通過光電傳感技術(shù)實現(xiàn)對塵埃粒子粒徑檢測及粒子數(shù)量的計數(shù)。相比于普通款的大流量粒子計數(shù)器，此款儀器檢測粒徑更小，能最小檢測0.1um的粒子數(shù)，適用于十級及一級的超凈環(huán)境;適用于電子、半導(dǎo)體、液晶面板、微納加工、航空航天、精密加工、新型材料、科研院所等超凈場景。

微電子車間0.1um在線激光塵埃粒子計數(shù)器產(chǎn)品參數(shù)

粒徑范圍：0.1um~10.0um

標(biāo)準(zhǔn)粒徑通道：0.1um,0.2um，0.3,0.5um

0.1um粒徑檔計數(shù)效率：50±20%

濃度示值誤差：等于0.5μms±20%FS

最大采樣濃度：500000PC/CRM，濃度超限保護(hù)，并提示儀器自凈

重復(fù)誤差：±5%F.S

自凈時間：≤10min

采樣流量：28.3L±5%，實時監(jiān)控，超限報警

采樣周期：1-9999s可設(shè)置

連續(xù)工作：支持24h不間斷穩(wěn)定工作

激光光源：長壽命日本進(jìn)口半導(dǎo)體激光二極管

真空：內(nèi)部真空源，壽命{>}20000小時

顯示：4.3英寸觸摸屏

電源：DC24V/1A

通訊方式：RS485 @ModbusRTU/以太網(wǎng) @ModbusTCP/無線通訊@LoRa

校準(zhǔn)規(guī)范：JF1190-2008,GB/T 25915.1-2021

外殼：304不銹鋼

尺寸：寬19.2*深21.2*高15.2cm

重量：4kg

工作環(huán)境：溫度0~40℃溫度10%-90%無凝結(jié)

存儲環(huán)境:溫度-10-50℃濕度0~90%無凝結(jié)